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齐韵泵业 山东水环式真空泵厂 山东水环式真空泵

发布日期 :2020-12-03 01:37发布IP:123.58.44.103编号:6916459
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推荐使用减压阀(减压阀站),山东水环式真空泵哪家好,安装使用加压阀后可以有效的保护进气阀不会受到磨损的同时也可以允许将驱动压力维持在能够满足水环式真空泵排量的设定压力。

 有些特定的情况下限值了减压阀的应用,比如在较狭隘的环境下我们推荐集成了气管的减压阀,山东水环式真空泵厂,这样通过集气管为水环式真空泵提供的缓冲区间接性减少了磨损现象。

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有效稀释有害气体的浓度:

  半导体易产生前面所说的、有毒的有害气体。所以半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物质,在与空气或氧接触的时候,会引起燃烧甚至;氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物质的量以及与环境的压力、温度的关系。因此半导体真空泵在抽取这些介质时,需要用氮气之类的惰性气体,在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围。  

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水环真空泵的排出侧必需装设阀门(球阀或截止阀等)和逆止阀。阀门用来调理泵的工况点,逆止阀在液体倒流时可避免泵反转,并使泵防止水锤的打击。

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